Решение задачи рефлектометрии для решетки с трапецеидальным профилем
Досколович Л.Л., Кадомина Е.А., Кадомин И.И.

Институт систем обработки изображений РАН,
Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва

Аннотация:
Рассмотрены методы решения задачи рефлектометрии для дифракционной решетки с трапецеидальным профилем. Представлен метод решения, основанный на использовании нейронной сети и гибридный метод, основанный на поиске по таблице с последующей оптимизацией. Приведенные результаты исследования свидетельствуют о высокой точности методов.

Литература:

  1. Optical Scatterometry of Subwavelength Diffraction Gratings: Neural-Network Approach, Ilkka Kallioniemi, Jyrki Saarinen, and Erkki Oja, Applied Optics, Vol. 37, Issue 25, pp. 5830-5835 (1998)
  2. Characterization of Diffraction Gratings in a Rigorous Domain with Optical Scatterometry: Hierarchical Neural-Network Model, Ilkka Kallioniemi, Jyrki Saarinen, and Erkki Oja, Applied Optics, Vol. 38, Issue 28, pp. 5920-5930 (1999)
  3. Characterization of optical diffraction gratings by use of a neural method, Stéphane Robert, Alain Mure-Ravaud, and Dominique Lacour, JOSA A, Vol. 19, Issue 1, pp. 24-32 (2002).
  4. Simplified optical scatterometry for periodic nanoarrays in the near-quasi-static limit, I. Abdulhalim, Applied Optics, Vol. 46, Issue 12, pp. 2219-2228 (2007)
  5. Scatterometry, an optical metrology technique for lithography, Logofatu, P.C.; Apostol, D.; Damian, V.; Nascov, V.; Garoi, F.; Timcu, A.; Iordache, I., Semiconductor Conference, 2004. CAS 2004 Proceedings. 2004 International, Volume 2, Issue , 4-6 Oct. 2004 Page(s): 517 - 520 vol.2
  6. P. C. Logofatu, S. A. Coulombe, B. K. Minhas, J.R. McNeil. Identity of the cross-reflection coefficients for symmetric surface-relief gratings // J. Opt. Soc. Am. A, Vol. 16, N 5, pp. 1108-1114
  7. M. Moharam, D.Pommet, E.Grann. Stable implementation of the rigorous coupled-wave analysis for surface-relief gratings: enhanced transmittance matrix approach // Journal of Optical Society of America A. -1995 - Vol.12, №5. - P.1077-1086.
  8. Moharam M.G., Grann E.B., Pommet D.A., Gaylord T.K. Formulation for stable and efficient implementation of the rigorous coupled-wave analysis of binary gratings // Journal of Optical Society of America A. - 1995. - Vol.12, №5. - P.1068-1076.
  9. L. Li. Use of Fourier series in the analysis of discontinuous periodic structures // Journal of Optical Society of America A. - 1996. - Vol.13, № 9. - P.1870-1876.
  10. S. Peng, G. M. Morris. Efficient implementation of rigorous coupled-wave analysis for surface-relief gratings // J. Opt. Soc. Am. A ,Vol. 12, No. 5, 1995, pp.1087-1096.
  11. Lifeng Li. Fourier modal method for crossed anisotropic gratings with arbitrary permittivity and permeability tensors // J. Opt. A: Pure Appl. Opt., N 5, 2003, pp. 345–355
  12. Lifeng Li. New formulation of the Fourier modal method for crossed surface-relief gratings // J. Opt. Soc. Am. A, Vol. 14, No. 10, 1997, pp.2758-2767.
© 2009, ИСОИ РАН
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: ko@smr.ru ; тел: +7 (846 2) 332-56-22, факс: +7 (846 2) 332-56-20