Моделирование влияния клина травления на фокусировку излучения цилиндрическими микролинзами с высокой числовой апертурой
Головашкин Д.Л., Кашайкина Е.Н., Орехова Ю.А.

Институт систем обработки изображений РАН,
Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королёва

Аннотация:
Работа посвящена исследованию влияния клина травления на фокусировку излучения дифракционными микролинзами с апертурой 16 длин волн и числовой апертурой 0,71. Рассматриваются случаи клина травления, характерные для жидкостной химической и плазменно-химической технологий.

Литература:

  1. Павельев В.С. Применение замечательных свойств собственных подпространств оператора распространения света в линзоподобной среде для решения задач компьютерной оптики// Компьютерная оптика, 2002.- №24.- с. 58-61.
  2. Бородин С.А. и др., Формирование и исследование дифракционного микрорельефа на торце галогенидного ИК волновода// Бородин С.А., Волков А.В., Казанский Н.Л., Карпеев С.В., Моисеев О.Ю., Павельев В.С., Якуненкова Д.М., Рунков Ю.А., Головашкин Д.Л. Компьютерная оптика, 2005.- №27.- с. 45-49.
  3. Волков А.В., Численное исследование дифракции света на дифракционных линзах// Волков А.В., Скиданов Р.В.Вестник СГТУ, 2000.- вып. 9.-c. 35-39.
  4. Скиданов Р.В., Влияние технологических ошибок и уширения линии излучения лазера на качество работы дифракционных оптических элементов// Скиданов Р.В., Хонина С.Н. Оптический журнал, 2004.- Том 71, № 7.- c.62-64.
  5. Досколович Л.Л., Расчет бинарных дифракционных решеток с клином травления// Досколович Л.Л., Тявин Е.В.  Компьютерная оптика, 2005.- №27.- с. 17-20.
  6. Головашкин Д.Л., Моделирование прохождения ИК-излучения через алмазную дифракционную линзу с субволновыми технологическими погрешностями микрорельефа// Головашкин Д.Л., Дюпарре М., Павельев В.С., Сойфер В.А.Компьютерная оптика, 2001.-№ 21.- с. 131-133.
  7. Головашкин Д.Л. Анализ распространения излучения через фрагменты ДОЭ с технологическими погрешностями микрорельефа// Известия СНЦ РАН, 2002.- Том 4, № 1.- с. 68-72.
  8. Taflove A., Hagness S. Computational Electrodynamics: The Finite-Difference Time-Domain Method: 2nd. ed. – Boston:Arthech House Publishers, 2000.- 852 p.
  9. Yee K.S. Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell’s equations in isotropic media// IEEE Trans. Antennas Propag., 1966.- AP-14.- р. 302-307.
  10. Головашкин Д.Л. Постановка излучающего условия при моделировании работы цилиндрических дифракционных оптических элементов методом разностного решения уравнений Максвелла// Математическое моделирование, 2007.- Том 19, № 3. - с. 3-14.
  11. Головашкин Д.Л., Казанский Н.Л. Разностный метод решения уравнений Максвелла//Учеб. пособие/ Самар. гос. аэрокосм. ун.-т. Самара, 2007.-160с.
  12. Бутиков Е.И. Оптика: Учебное пособие для студентов физических специальностей вузов.- СПб.: Невский Диалект, 2003.-480 с.
  13. Методы компьютерной оптики (Издание второе, исправленное): под ред. Сойфера В.А.- М. Физматлит, 2003.- 688с.
© 2009, ИСОИ РАН
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: ko@smr.ru ; тел: +7 (846 2) 332-56-22, факс: +7 (846 2) 332-56-20