Формирование интерференционных картин поверхностных электромагнитных волн с изменяемым периодом с помощью дифракционных решеток
Безус Е.А., Досколович Л.Л., Кадомин И.И., Казанский Н.Л., Pierluigi Civera, Marco Pizzi

Институт систем обработки изображений РАН,
Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева
,
Polytechnical Institute of Turin

Аннотация:
Рассмотрено формирование интерференционных картин поверхностных электромагнитных волн с помощью диэлектрической дифракционной решетки с металлическим слоем. Моделирование в рамках электромагнитной теории показывает возможность получения контрастных интерференционных картин с периодом в несколько раз меньшим периода дифракционной решетки. При этом интенсивность поля в интерференционных максимумах в десятки раз превышает интенсивность падающей волны. Рассмотрены способы управления периодом интерференционной картины за счет изменения длины волны и угла падения.

Ключевые слова :
дифракция, дифракционная решетка, фотолитография, интерференционная картина, поверхностная электромагнитная волна.

Литература :

  1. Blaikie, R.J. Evanescent interferometric lithography / R.J. Blaikie, S.J. McNab // Applied Optics, 2001. – Vol. 40(10). – p. 1692-1698.
  2. Luo, X. Surface plasmon resonant interference nanolithography technique / X. Luo, T. Ishihara // Appl. Phys. Letters, 2004. – Vol. 84(23). – p. 4780-4782.
  3. Luo, X. Subwavelength photolithography based on surface-plasmon polariton resonance / X. Luo, T. Ishihara // Opt. Expr., 2004. – Vol. 12(14). – p. 3055-3065.
  4. Martinez-Anton, J.C. Surface relief subwavelength gratings by means of total internal reflection evanescent wave interference lithography / J.C. Martinez-Anton // J. Opt. A.: Pure Appl. Opt., 2006. – Vol. 8. – p.213-218.
  5. Jiao, X. Numerical simulation of nanolithography with the subwavelength metallic grating waveguide structure / X. Jiao [and other] // Opt. Expr., 2006. – Vol. 14(11). – p. 4850-4860.
  6. Doskolovich, L. L. Nanoscale photolithography by means of surface plasmons interference / L. L. Doskolovich [and other] // J. Opt. A: Pure Appl. Opt., 2007. – Vol. 9. – p. 854-857.
  7. Moharam, M.G. Stable implementation of the rigorous coupled-wave analysis for surface-relief gratings: enhanced transmittance matrix approach / M.G. Moharam [and other] // J. Opt. Soc. Am. A., 1995. – Vol. 12(5). –p. 1077-1086.
  8. Moharam, M.G. Formulation for stable and efficient implementation of the rigorous coupled-wave analysis of binary gratings / M.G. Moharam [and other] // J. Opt. Soc. Am. A., 1995. – Vol. 12(5). – p. 1068-1076.
  9. Li, L. Use of Fourier series in the analysis of discontinuous periodic structures / L. Li // J. Opt. Soc. Am. A., 1996. – Vol. 13(9) – p. 1870-1876.

© 2009, ИСОИ РАН
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: ko@smr.ru ; тел: +7 (846 2) 332-56-22, факс: +7 (846 2) 332-56-20