Формирование интерференционных картин поверхностных электромагнитных волн с изменяемым периодом с помощью дифракционных решеток
Безус Е.А., Досколович Л.Л., Кадомин И.И., Казанский Н.Л., Pierluigi Civera, Marco Pizzi

Институт систем обработки изображений РАН,
Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева,
Polytechnical Institute of Turin

Аннотация:
Рассмотрено формирование интерференционных картин поверхностных электромагнитных волн с помощью диэлектрической дифракционной решетки с металлическим слоем. Моделирование в рамках электромагнитной теории показывает возможность получения контрастных интерференционных картин с периодом в несколько раз меньшим периода дифракционной решетки. При этом интенсивность поля в интерференционных максимумах в десятки раз превышает интенсивность падающей волны. Рассмотрены способы управления периодом интерференционной картины за счет изменения длины волны и угла падения.

Ключевые слова :
дифракция, дифракционная решетка, фотолитография, интерференционная картина, поверхностная электромагнитная волна.

Литература :

  1. Blaikie, R.J. Evanescent interferometric lithography / R.J. Blaikie, S.J. McNab // Applied Optics, 2001. – Vol. 40(10). – p. 1692-1698.
  2. Luo, X. Surface plasmon resonant interference nanolithography technique / X. Luo, T. Ishihara // Appl. Phys. Letters, 2004. – Vol. 84(23). – p. 4780-4782.
  3. Luo, X. Subwavelength photolithography based on surface-plasmon polariton resonance / X. Luo, T. Ishihara // Opt. Expr., 2004. – Vol. 12(14). – p. 3055-3065.
  4. Martinez-Anton, J.C. Surface relief subwavelength gratings by means of total internal reflection evanescent wave interference lithography / J.C. Martinez-Anton // J. Opt. A.: Pure Appl. Opt., 2006. – Vol. 8. – p.213-218.
  5. Jiao, X. Numerical simulation of nanolithography with the subwavelength metallic grating waveguide structure / X. Jiao [and other] // Opt. Expr., 2006. – Vol. 14(11). – p. 4850-4860.
  6. Doskolovich, L. L. Nanoscale photolithography by means of surface plasmons interference / L. L. Doskolovich [and other] // J. Opt. A: Pure Appl. Opt., 2007. – Vol. 9. – p. 854-857.
  7. Moharam, M.G. Stable implementation of the rigorous coupled-wave analysis for surface-relief gratings: enhanced transmittance matrix approach / M.G. Moharam [and other] // J. Opt. Soc. Am. A., 1995. – Vol. 12(5). –p. 1077-1086.
  8. Moharam, M.G. Formulation for stable and efficient implementation of the rigorous coupled-wave analysis of binary gratings / M.G. Moharam [and other] // J. Opt. Soc. Am. A., 1995. – Vol. 12(5). – p. 1068-1076.
  9. Li, L. Use of Fourier series in the analysis of discontinuous periodic structures / L. Li // J. Opt. Soc. Am. A., 1996. – Vol. 13(9) – p. 1870-1876.
© 2009, ИСОИ РАН
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: ko@smr.ru ; тел: +7 (846 2) 332-56-22, факс: +7 (846 2) 332-56-20