Аннотация:
Изготовлены и исследованы дифракционные делители пучка 1:3 и 1:5 с непрерывным профилем микрорельефа для длины волны лазерного излучения 1064 нм. Приведены результаты измерений профиля созданных элементов и распределения интенсивности, формируемые элементами.

Abstract:
Diffractive beam splitters (1:3 and 1:5) with continuous profile are fabricated and investigated. The results of profile measurements and intensity distribution of the diffractive beam splitters are given. The comparison between theoretical simulations and experimental results shows very good correlation.

Ключевые слова :
дифракционные делители пучка, дифракционный микрорельеф, порядки дифракции.

Key words:
diffractive beam splitters, diffractive microrelief, diffractive orders.

Литература (References):

1. Loewen, E.G. Diffraction Gratings and Applications / E.G. Loewen, E. Popov. – Marcel Dekker Inc., 1997. – 601 p.
   
2. Reichelt, S. Self-calibration of wavefront testing interferometers by use of diffractive elements / Stephan Reichelt, Hans Tiziani, Hans Zappe // Proc. of SPIE 2006. – Vol. 6292. – P. 629205.1-629205.10.
   
3. Golovashkin, D.L. Technology of DOE fabrication / In Book: Methods for Computer Design of Diffractive Optical Elements. Chapter 4. / D.L. Golovashkin, N.L. Kazan­skiy, V.S. Pavelyev, V.A. Soifer, V.S. Solovyev, G.V. Us­plenyev, A.V. Volkov. – New-York: John Wiley & Sons Inc., 2002. – P. 267-345.
   
4. Doskolovich, L.L. Iterative methods for designing DOEs / In Book: Methods for Computer Design of Diffractive Optical Elements. Chapter 2 / L.L. Doskolovich, V.V. Kot­lyar, V.A. Soifer. – New-York: John Wiley & Sons Inc., 2002. – P. 55-158.
   
5. Soifer, V.A. Iterative Methods for Diffractive Optical Elements Computation / V.A. Soifer, V.V. Kotlyar, L.L. Doscolovich. – London: Taylor & Francis Ltd., 1997. – 245 p.
   
6. Wyrowski, F. Diffractive optical elements: iterative calculation of quantized, blazed phase structures / F. Wyrowski // J. Opt. Soc. Am. A., 1990. – Vol. 7(6). – P. 961-963.
   
7. Hentze, J. Process and device for producing optical lenses or the like / J. Hentze, V. Lissotschenko // WO9409389, 1994.
   
8. Bizjak, T. Novel refractive optics enable multipole off-axis illumination / T. Bizjak, T. Mitra, D. Haus­child, L. Aschke // Proc. of SPIE. – 2008 – Vol. 6924 – P. 69242J.
   
9. Homburg, O. Refractive beam shaping: From the solution of the Maxwell equations to products and its applications in laser material processing / O. Homburg, D. Hauschild, L. Aschke, V. Lissotschenko // Proc. of SPIE. – 2008. – Vol. 6663. – P. 66630D.
   
10. Homburg, O. Manufacturing and application of microoptics / O. Homburg, D. Hauschild, V. Lissotschenko // Optik and Photonik. – 2008. – Vol. 4. – P. 48-52.
    
11. Bizjak, T. Inspection and metrology tools benefit from free-form refractive micro-lens and micro-lens arrays / T. Bizjak, T. Mitra, D. Hauschild, L. Aschke // Proc. of SPIE. – 2009. – Vol. 7272. – P. 72723Q.
12. Romero, L.A. Theory of optimal beam splitting by phase gratings. I. One-dimensional gratings / L.A. Romero, F.M. Dickey // J. Opt. Soc. Am. A. – 2007. – Vol. 24(8). – P. 2280-2295.

---

© 2009, ИСОИ РАН
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: ko@smr.ru ; тел: +7 (846) 332-56-22, факс: +7 (846) 332-56-20