Программное обеспечение для устройства контроля чистоты и шероховатости оптических подложек
Глянько М.С., Изотов П.Ю.

Аннотация:
В работе описывается программное обеспечение, разработанное для устройства экспресс-контроля шероховатости и чистоты поверхности оптических подложек, позволяющее автоматизировать процесс измерений. Приводится описание общей схемы проведения исследований, решаются задачи организации хранения и обработки данных в системе.

Ключевые слова :
экспресс-контроль чистоты и шероховатости поверхности, шероховатость, оптическая подложка, программное обеспечение, кадр видеосъёмки, хранение изображений, база данных, алгоритм.

Литература:

  1. Stern, M.B. Binary Optics Fabrication / M.B. Stern. – Micro-Optics: Elements, Systems And Applications; edited by Hans Peter Herzig. – London: Taylor & Francis Ltd., 1997. – P. 53-85.
  2. Казанский, Н.Л. Исследовательский комплекс для решения задач компьютерной оптики / Н.Л. Казанский // Компьютерная оптика. – 2006. – № 29. – С. 58-77. – ISSN 0134-2452.
  3. Казанский, Н.Л. Исследовательско-технологический центр дифракционной оптики / Н.Л. Казанский // Известия Самарского научного центра РАН. – 2011. – Т. 13, № 4. – С. 54-62. – ISSN 1990-5378.
  4. Волков, А.В. Исследование технологии плазменного травления для получения многоуровневых дифракционных оптических элементов / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Е. Рыбаков // Компьютерная оптика. – 1998. – № 18. – С. 130-133. – ISSN 0134-2452.
  5. Волков, А.В. Разработка технологии получения дифракционного оптического элемента с субмикронными размерами рельефа в кремниевой пластине / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Е. Рыбаков // Компьютерная оптика. – 1998. – № 18. – С. 133-138. – ISSN 0134-2452.
  6. Волков, А.В. Исследование процессов нанесения и травления фоторезиста с целью повышения точности формирования микрорельефа широкоапертурных ДОЭ / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Ю. Моисеев // Компьютерная оптика. – 1999. – № 19. – С. 143-146. – ISSN 0134-2452.
  7. Казанский, Н.Л. Исследование особенностей процесса анизотропного травления диоксида кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков, А.И. Колпаков // Микроэлектроника. – 2004. – Т. 33, № 3. – С. 209-224. – ISSN 0544-1269.
  8. Волков, А.В. Сухое травление поликристаллических алмазных плёнок / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, Г.Ф. Костюк, В.С. Павельев // Компьютерная оптика. – 2001. – № 22. – С. 50-52 – ISSN 0134-2452.
  9. Волков, А.В. Разработка и исследование метода формирования микрорельефа ДОЭ в сапфировых подложках / А.В. Волков, О.Г. Истинова, Н.Л. Казанский, Г.Ф. Костюк // Компьютерная оптика. – 2002. – № 24.– С. 70-73. – ISSN 0134-2452.
  10. Волков, А.В. Формирование микрорельефа с использованием халькогенидных стеклообразных полупроводников / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Ю. Моисеев // Компьютерная оптика. – 2002. –№ 24. – С. 74-77. – ISSN 0134-2452.
  11. Pavelyev, V.S. Formation of diffractive microrelief on diamond film surface / V.S. Pavelyev, S.A. Borodin, N.L. Kazanskiy, G.F. Kostyuk, A.V. Volkov // Optics & Laser Technology. – 2007. – Vol. 39, N 6. – P. 1234-1238. – ISSN 0030-3992.
  12. Волков, А.В. Метод формирования дифракционного микрорельефа на основе послойного наращивания фоторезиста / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Ю. Моисеев, В.А. Сойфер // Компьютерная оптика. – 1996. – № 16. – С. 12-14. – ISSN 0134-2452.
  13. Volkov, A.V. A Method for the Diffractive Microrelief Forming Using the Layered Photoresist Growth / A.V. Vol­kov, N.L. Kazanskiy, O.Yu. Moiseev, V.A. Soifer // Optics and Lasers in Engineering. – 1998. – Vol. 29. – N 4-5. – P. 281-288.
  14. Волков, А.В. Подготовка поверхности подложек для изготовления ДОЭ методом послойного наращивания фоторезиста / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Ю. Мои­сеев // Компьютерная оптика. – 2001 – № 21. – С. 113-116. – ISSN 0134-2452.
  15. Волков, А.В. Технология изготовления непрерывного микрорельефа дифракционных оптических элементов / А.В. Волков, Н.Л. Казанский, В.А. Сойфер, В.С. Соловьёв // Компьютерная оптика – 1997. – № 17. – С. 91-93. – ISSN 0134-2452.
  16. Казанский, Н.Л. Исследование механизма формирования каталитической маски при облучении структуры алюминий-кремний частицами газового разряда высоковольтного типа / Н.Л. Казанский, А.И. Колпаков, В.А. Колпаков // Компьютерная оптика. – 2002. – № 24. – С. 84-90. – ISSN 0134-2452.
  17. Kazanskiy, N.L. Orientating Liquid Crystals Using Surface-Directed Structures / N.L Kazanskiy, V.S. Solovyov, A.V. Volkov // Optical Memory & Neural Networks (Information Optics). – 2005. – Vol. 14, N 2. – P. 123-128. – ISSN 1060-992X.
  18. Голуб, М.А. Синтез эталонов для контроля внеосевых сегментов асферических поверхностей / М.А. Голуб, Н.Л. Казанский, И.Н. Сисакян, В.А. Сойфер // Оптика и спектроскопия. – 1990. – Т. 68, № 2. – C. 461-466. – ISSN 0030-4034.
  19. Doskolovich, L.L. Designing reflectors to generate a line-shaped directivity diagram / L.L. Doskolovich, N.L. Kazanskiy, S.I. Kharitonov, P. Perlo, S. Bernard // Journal of Modern Optics. – 2005. – Vol. 52, N 11. – P. 1529-1536. – ISSN 0950-0340.
  20. Doskolovich, L.L. Designing a mirror to form a line-shaped directivity diagram / L.L. Doskolovich, N.L. Kazanskiy, S. Bernard // Journal of Modern Optics. – 2007. – Vol. 54, N 4. – P. 589-597. – ISSN 0950-0340.
  21. Woodruff, D.P. Modern Techniques of Surface Science (2nd edition) / D.P. Woodruff, T.A. Delchar. – Cambridge University Press, 1994. – 608 p.
  22. Whitehouse, D. Surface and their measurement / D. Whitehouse. – Butterworth-Heinemann, 2004. – 432 p.
  23. Казанский, Н.Л. Оптимизация параметров устройства трибометрического измерения чистоты поверхности подложек / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков, А.И. Колпаков, С.В. Кричевский, Н.А. Ивлиев // Компьютерная оптика. – 2005. – № 28. – С. 76-79. – ISSN 0134-2452.
  24. Казанский, Н.Л. Исследование особенностей трибометрического взаимодействия диэлектрических подложек при экспресс-контроле степени чистоты их поверхности / Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков, А.И. Колпаков, С.В. Кричевский, Н.А. Ивлиев // Компьютерная оптика. – 2007. – Т. 31, № 1. – С. 42-46. – ISSN 0134-2452.
  25. Kazanskiy, N.L. Interaction of Dielectric Substrates in the Course of Tribometric Assessment of the Surface Cleanliness / N.L. Kazanskiy, S.V. Karpeev, V.A. Kolpakov, S.V. Krichevsky, N.A. Ivliev // Optical Memory & Neural Networks (Information Optics). – 2008. – Vol. 17, N 1. – P. 37-42. – ISSN 1060-992X.
  26. Бородин, С.А. Автоматизированное устройство для оценки степени чистоты подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на её поверхность / С.А. Бородин, А.В. Волков, Н.Л. Казанский // Компьютерная оптика. – 2006. – № 28. – С. 70-75. – ISSN 0134-2452.
  27. Бородин, С.А. Устройство для анализа наношероховатостей и загрязнений подложки по динамическому состоянию капли жидкости, наносимой на её поверхность / С.А. Бородин, А.В. Волков, Н.Л. Казанский // Оптический журнал. – 2009. – Т. 76, № 7. – С. 42-47. – ISSN 0030-4042.
  28. Изотов, П.Ю. Модификация прибора индикации чистоты и гладкости оптических подложек / П.Ю. Изотов, М.С. Глянько, С.В. Суханов // Компьютерная оптика. – 2011. – Т. 35, № 1. – С. 63-69. – ISSN 0134-2452.
  29. Казанский, Н.Л. Система технического зрения для определения количества гель-частиц в растворе полимера / Н.Л. Казанский, С.Б. Попов // Компьютерная оптика. – 2009. – Т. 33, № 3. – С. 325-331. – ISSN 0134-2452.
  30. Kazanskiy, N.L. Machine vision system for singularity detection in monitoring the long process / N.L. Kazanskiy, S.B. Popov // Optical Memory and Neural Networks (Information Optics). – 2010. – Vol. 19, N 1. – P. 23-30. – ISSN 1060-992X.
  31. Windows 95 – Introduction [Электронный ресурс] // Resources and Tools for IT Professionals | Technet [сайт]. [1996]. URL: http://technet.microsoft.com/en-us/library/ cc723279.aspx (дата обращения 20.04.2012).
  32. Sears, R. To BLOB or not to BLOB: Large object storage in a Database or Filesystem? / R. Sears, C. van Ingen, J. Gray // Technical Report MSR-TR-2006-45. – Microsoft Research, April 2006.
  33. Kyte, T. Storing Files in an Oracle Database [Электронный ресурс] // Ask Tom Home [сайт]. [2008]. URL: http://asktom.oracle.com/pls/apex/f?p=100:11:0::::P11_QUESTION_ID:1011065100346196442 (дата обращения: 15.04.2012).
  34. Portable Network Graphics (PNG) Specification (Second Edition) W3C Recommendation 10 November 2003 [Электронный ресурс] // World Wide Web Consortium (W3C). [сайт]. [2003]. URL: http://www.w3.org/ TR/PNG/ (дата обращения: 17.04.2012).
  35. The Standard for Integration Definition for Information Modeling (IDEF1X) / Laboratory of the National Institute of Standards and Technology (NIST). – 1993, December 21.
© 2009, ИСОИ РАН
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: ko@smr.ru ; тел: +7 (846) 332-56-22, факс: +7 (846) 332-56-20