Контроль пространственного распределения оптического излучения, рассеянного дифракционной структурой
Белоусов Д.А., Полещук А.Г., Хомутов В.Н.

Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия

Аннотация:
Представлены результаты разработки и исследования метода и устройства для оперативного контроля пространственного распределения интенсивности дифракционных порядков в телесном угле дифракции до ±80° и 360° по азимуту как на проход, так и на отражение. Разработанное устройство предназначено для контроля формы и глубины микрорельефа дифракционных оптических элементов в процессе производства.

Ключевые слова :
дифракционная оптика, компьютерная оптика, ДОЭ, синтезированные голограммы, измерительная система.

Цитирование:
Белоусов, Д.А. Контроль пространственного распределения оптического излучения, рассеянного дифракционной структурой / Д.А. Белоусов, А.Г. Полещук, В.Н. Хомутов // Компьютерная оптика. – 2015. – Т. 39, № 5. – С. 678-687. – DOI: 10.18287/0134-2452-2015-39-5-678-687.

Литература:

  1. Методы компьютерной оптики / А.В. Волков, Д.Л. Голо­вашкин, Л.Д. Досколович, Н.Л. Казанский, В.В. Котляр, В.С. Па­вельев, Р.В. Скиданов, В.А. Сойфер, В.С. Соловьев, Г.В. Успленьев, С.И. Харитонов, С.Н. Хонина; под ред. В.А. Сойфера. – изд. 2-е, испр. – М.: Физматлит, 2003. – 688 с.
  2. Волков, А.В. Контроль параметров микрорельефа ДОЭ с использованием тестовых дифракционных структур / А.В. Волков // Вестник Самарского государственного технического университета. Серия Физико-математи­ческие науки. – 2001. – № 12. – С. 179-185. – ISSN 1991-8615.
  3. Golub, M.A. Optical performance evaluation from microrlief profile scans of diffractive optical elements / M.A. Golub // International meeting: Diffractive Optics and Micro-Optics, DOMO 2000. – 2000. – Vol. 1. – P. 110-112.
  4. Кирьянов, В.П. Измерение эффективности дифракционных оптических элементов методом сканирования / В.П. Кирьянов, В.Г. Никитин // Автометрия. – 2004. – Т. 40, № 5. – C. 82-93. – ISSN 0320-7102.
  5. Белоусов, Д.А. Прибор для измерения дифракционной эффективности в широком динамическом диапазоне / Д.А. Белоусов в сб.: Материалы всероссийской научной конференции молодых учёных "Наука. Технологии. Инновации" – Ч.1. – Новосибирск: изд-во НГТУ, 2014. – С. 15-19.
  6. Котляр, В.В. Измерение орбитального углового момента светового поля с помощью дифракционного оптического элемента / В.В. Котляр, С.Н. Хонина, В.А Сойфер, Я. Янг // Автометрия. – 2002. – Т. 38, № 3. – C. 33-44. – ISSN 0320-7102.
  7. Cai, W. Diffractive optics calibrator measurement of etching variations for binary computer-generated-holograms / W. Cai, P. Zhou, C. Zhao, J. H. Burge // Applied Optics. – 2014. – № 53. – P. 2477-2486. – ISSN 1539-4522.
  8. Хомутов, В.Н. Измерение дифракционной эффективности ДОЭ по многим порядкам дифракции / В.Н. Хомутов, А.Г. Полещук, В.В. Черкашин // Компьютерная оптика. – 2011. – Т. 35, № 2. – С. 196-202. – ISSN 0134-2452.
  9. Борн, М. Основы оптики / М. Борн, Э. Вольф; пер. с англ. – М.: Наука, 1973. – 720 с. (M. Born, E. Volf. Principles of optics. – N.Y.: Pergamon press. Publishers, 1968.)
  10. Полещук, А.Г. Дифракционные оптические элементы для управления параметрами лазерного излучения и прецизионного контроля формы асферических поверхностей / А.Г. Полещук, В.П. Корольков, Р.К. Насыров // Интерэкспо ГЕО-Сибирь-2015. XI международный научный конгресс и выставка (Новосибирск, 20-22 апр. 2014 г.): Международная научная конференция «СибОптика-2015»: сб. матер. в 5 т. − 2015. – Вып. 2, Т. 2. − С. 232-238.
  11. Абросимов, С.А. Измеритель шероховатости поверхности в диапазоне 1-25 нм по индикатрисе рассеянного света / С.А. Абросимов, М.В. Высогорец, А.А. Малютин, А.В. Ненашев, Р.В. Серов // Квантовая электроника. – 1994. – Т. 21, №1 – С. 78-80.
  12. Барышников, Н.В. Анализ методов измерения шероховатости поверхности и экспериментальное исследование диффузного рассеяния на базе рефлектометрического метода / Н.В. Барышников, Д.Г. Денисов, И.В. Животовский, А.Ю. Каплин // Молодёжный научно-технический вестник – М: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2012. – №1. – С. 30-41.
© 2009, IPSI RAS
Institution of Russian Academy of Sciences, Image Processing Systems Institute of RAS, Russia, 443001, Samara, Molodogvardeyskaya Street 151; E-mail: ko@smr.ru; Phones: +7 (846) 332-56-22, Fax: +7 (846) 332-56-20