(42-6) 02 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

 PDF, 1760 kB

DOI: 10.18287/2412-6179-2018-42-6-941-946

Страницы: 941-946.

Аннотация:
Разработан и успешно применен метод высокочастотной лазерной абляции с использованием двухкоординатного сканатора луча для создания дифракционного оптического элемента терагерцового диапазона с непрерывным микрорельефом. Приведены результаты исследования микрорельефа полученного кремниевого фокусатора Гауссова пучка в квадратную область.

Ключевые слова:
дифракционный оптический элемент, лазер на свободных электронах, терагерцовое излучение, лазерная абляция.

Цитирование:
Тукмаков, К.Н. Изготовление методом лазерной абляции и исследование кремниевого фокусатора излучения терагерцового диапазона с непрерывным дифракционным микрорельефом / К.Н. Тукмаков, М.С. Комленок, В.С. Павельев, Т.В. Кононенко, В.И. Конов // Компьютерная оптика. – 2018. – Т. 42, № 6. – С. 941-946. – DOI: 10.18287/2412-6179-2018-42-6-941-946.

1. Kulipanov, G.N. Novosibirsk free electron laser–facility description and recent experiments / G.N. Kulipanov, E.G. Bagryanskaya, E.N. Chesnokov, Yu.Yu. Choporova, V.V. Gerasimov, Ya.V. Getmanov, S.L. Kiselev, B.A. Knyazev, S.E. Peltek, V.M. Popik, T.V. Salikova, M.A. Scheglov, S.S. Seredniakov, O.A. Shevchenko, A.N. Skrinsky, S.L. Veber, N.A. Vinokurov // IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology. – 2015. – Vol. 5, Issue 5. – P. 798-809. – DOI: 10.1109/TTHZ.2015.2453121.
2. Walsby, E.D. Multilevel silicon diffractive optics for terahertz waves / E.D. Walsby, S. Wang, J. Xu, T. Yuan, R. Blaikie, S.M. Durbin, X.-C. Zhang, D.R.S. Cumming // Journal of Vacuum Science & Technology B. – 2002. – Vol. 20, Issue 6. – 2780.– DOI: 10.1116/1.1518021.
3. Furlan, W.D. 3D printed diffractive terahertz lenses / W.D. Furlan, V. Ferrando, J.A. Monsoriu, P. Zagrajek, E. Czerwinska, M. Szustakowski // Optics Letters. – 2016. – Vol. 41, Issue 8. – P. 1748-1751. – DOI: 10.1364/OL.41.001748.
4. Агафонов, А.Н. Кремниевые дифракционные оптические элементы для мощного монохроматического терагерцового излучения / А.Н. Агафонов, Б.О. Володкин, А.К. Кавеев, Б.А. Князев, Г.И. Кропотов, В.С. Павельев, В.А. Сойфер, К.Н. Тукмаков, Е.В. Цыганкова, Ю.Ю. Чопорова // Автометрия. – 2013. – Т. 49, № 2. – С. 98-105.
5. Knyazev, B.A. Real-time imaging using a high-power monochromatic terahertz source: Comparative description of imaging techniques with examples of application / B.A. Knyazev, V.S. Cherkassky, Yu.Yu. Choporova, V.V. Gerasimov, M.G. Vlasenko, M.A. Dem’yanenko, D.G. Esaev // Journal of Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves. – 2011. – Vol. 32, Issue 10. – P. 1207-1222. – DOI: 10.1007/s10762-011-9773-x.
6. Дифракционная компьютерная оптика / Д.Л. Головашкин, Л.Л. Досколович, Н.Л. Казанский, В.В. Котляр, В.С. Павельев, Р.В. Скиданов, В.А. Сойфер, С.Н. Хонина; под ред. В.А. Сойфера. – М.: Физматлит, 2007. – 736 с. – ISBN: 5-9221-0845-4.
7. Агафонов, А.Н. Кремниевая оптика для фокусировки лазерного излучения терагерцового диапазона в заданные двумерные области / А.Н. Агафонов, Б.О. Володкин, С.Г. Волотовский, А.К. Кавеев, Б.А. Князев, Г.И. Кропотов, В.С. Павельев, К.Н. Тукмаков, Е.В. Цыганкова, Д.И. Цыпишка, Ю.Ю. Чопорова // Компьютерная оптика. – 2013. – Т. 37, № 4. – С. 464-470.
8. Комленок, М.С. Создание линзы Френеля терагерцевого диапазона с многоуровневым микрорельефом методом фемтосекундной лазерной абляции / М.С. Комленок, Б.О. Володкин, Б.А. Князев, В.В. Кононенко, Т.В. Кононенко, В.И. Конов, В.С. Павельев, В.А. Сойфер, К.Н. Тукмаков, Ю.Ю. Чопорова // Квантовая электроника. – 2015. – Т. 45, № 10. – С. 933-936.
9. Minkevičius, L. Terahertz multilevel phase Fresnel lenses fabricated by laser patterning of silicon / L. Minkevičius, S. Indrišiūnas, R. Šniaukas, B. Voisiat, V. Janonis, V. Tamošiūnas, I. Kašalynas, G. Račiukaitis, G. Valušis // Optics Letters. – 2017. – Vol. 42, Issue 10. – P. 1875-1878. – DOI: 10.1364/OL.42.001875.
10. Zeng, X. Experimental investigation of ablation efficiency and plasma expansion during femtosecond and nanosecond laser ablation of silicon / X. Zeng, X.L. Mao, R. Greif, R.E. Russo // Applied Physics A. – 2005. – Vol. 80, Issue 2. – P. 237-241. – DOI: 10.1007/s00339-004-2963-9.
11. Duparré, M. Investigation of computer-generated diffractive beam shapers for flattening of single-modal CO2 laser beams / M. Duparré, M.A. Golub, B. Lüdge, V.S. Pavelyev, V.A. Soifer, G.V. Uspleniev, S.G. Volotovskii // Applied Optics. – 1995. – Vol. 34, Issue 14. – P. 2489-2497. – DOI: 10.1364/AO.34.002489.
12. Pavelyev, V.S. Fabrication of high-effective silicon diffractive optics for the terahertz range by femtosecond laser ablation / V.S. Pavelyev, M.S. Komlenok, B.O. Volodkin, B.A. Knyazev, T.V. Kononenko, V.I. Konov, V.A. Soifer, Yu.Yu. Choporova // Physics Procedia. – 2016. – Vol. 84. – P. 170-174. – DOI: 10.1016/j.phpro.2016.11.030.
13. Her, T.H. Microstructuring of silicon with femtosecond laser pulses / T.H. Her, R.J. Finlay, C. Wu, S. Deliwala, E. Mazur // Applied Physics Letters. – 1998. – Vol. 73, Issue 12. – 1673. – DOI: 10.1063/1.122241.
14. Sánchez, F. Characterization of the progressive growth of columns by excimer laser irradiation of silicon / F. Sánchez, J.L. Morenza, V. Trtik // Applied Physics Letters. – 1999. –Vol. 75, Issue 21. – 3303 (5 p.). – DOI: 10.1063/1.125332.
15. Bonse, J. Femtosecond laser ablation of silicon–modification thresholds and morphology / J. Bonse, S. Baudach, J. Krüger, W. Kautek, M. Lenzner // Applied Physics A. – 2002. – Vol. 74, Issue 1. – P. 19-25. – DOI: 10.1007/s003390100893.

---

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru ; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20