(17) 12 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

ТОЧНОСТЬ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ЛАЗЕРНЫМИ ЗАПИСЫВАЮЩИМИ СИСТЕМАМИ С КРУГОВЫМ СКАНИРОВАНИЕМ
В.П. Коронкевич, В.П. Корольков, А.Г. Полещук, А.А. Харисов, В.В. Черкашин
Институт автоматики и электрометрии СО РАН (Новосибирск)

 PDF, 991 kB

Страницы: 63-74.

Язык статьи: Русский.

Аннотация:
Исследованы типичные источники погрешностей, возникающие при изготовлении дифракционных оптических элементов с помощью лазерных записывающих систем с круговым сканированием. Оценку погрешностей записи предложено осуществлять путем анализа волновых фронтов простейших тестовых структур, изготовленных с помощью записывающей системы - линейных дифракционных решеток и круговых зонных пластинок. В качестве примера приведена оценка точности работы лазерной записывающей системы, разработанной в Институте автоматики и электрометрии СО РАН. Система предназначена для изготовления на подложках до 300 мм диаметром бинарных амплитудных, многоуровневых полутоновых и фазовых дифракционных элементов с характерными размерами микроструктуры менее 1мкм. Интерферометрические измерения ошибок волнового фронта изготовленной бинарной зонной пластинки диаметром 58 мм с числовой апертурой 0,45 показали, что среднеквадратичная погрешность записи не превышает 0,04 мкм.

Citation:
Koronkevich VP, Korolkov VP, Poleshchuk AG, Kharisov AA, Cherkashin VV. Accuracy of fabrication of diffractive optical elements by means of laser writing systems with circular scanning. Computer optics. 1997; 17: 63-74.

Литература:

  1. Коронкевич В.П., Ленкова Г.А., Михальцова И.А. Киноформные линзы. Оптические методы получения фотошаблона // Автометрия. 1977, № 5, С.71-79.
  2. Hatley M. C., Stevens R.F., Wilson S.J. The manufacturing of blazed zone plates using a Fabry-Perot interferometer // J. Mod. Opt. 1988. 35, №. 2. P. 265-280.
  3. Riedl M., McCann J. Analysis and performance limits of diamond turned diffractive lenses for 3-5and 8-12 micrometer region // SPIE Critical Review. 1991. CR 38.
  4. Schwider J., Burow R. Testing of aspherics by means of rotation-symmetric synthetic holograms // Opt. Appl., 1976 v.6, P.83-88.
  5. Koronkevich V. P., Kirianov V. P., Kokoulin F.I., Poleshchuk et. al. I. Fabrication of kinoform optical elements // Optik. 1984. 67, № 3, P. 257-266 .
  6. Goltsos W., Liu S. Polar coordinate laser writer for binary optics fabrication // Proc. SPIE. 1990. 1211. P.137-147.
  7. Nomura T., Kamiya K. An instrument for manufacturing zone-plates by using a lathe // Precision Engineering. 1994. 16. P. 290-295.
  8. Ogata S., Tada M., Yoneda M. Electron-beam writing system and its application to large and highdensity diffractive optic elements // Appl. Opt. 1994. 33, P.2032-2038.
  9. Koronkevich V. P., Kiriynov V. P, Korolkov V. P., A. G. Poleshchuk, et al. Fabrication of diffractive optical elements by direct laser-writing with circular scanning // Proc.of SPIE. 1995. 2363, P.290-297.
  10. Buynov N., Larionov N. P., Lukin A. V. et al. Holographic interferometric inspection of aspherical surfaces // Optical Technology. 1971. 38. P. 194-197.
  11. Turunen J., Vasara A., Friberg A. Holographic generation of diffractive-free beams // Apll. Opt. 1988. 27. P.3959.
  12. Neugebauer G., Hauck R., Bryngdahl O.. Computer- generated holograms: carrier of polar geometry // Appl. Opt. 1985. 24, N 6. P.777-784.
  13. Burge H. Advance technology for measuring primary mirrors for astronomical telescopes. Dr. Ph. Dissertation. University of Arizona, 1993.
  14. Cherkashin V.V., E.G. Churin, J.H. Burge, V.P.Koronkevich, et al. Processing parameters optimization for thermochemical writing of DOEs on chromium films // Proc. SPIE, 1997. 3010. P.168- 179.
  15. Cherkashin V.V., Churin E.G., Kirianov A.V. et at. Circular laser writing system - CLWS-300C / EOS Topical Meeting Digest Series// Diffractive Opitics. 1997. 12. P. 222-223.
  16. Пальчикова И.Г., Рябчун А.Г. О влиянии погрешностей изготовления киноформов на функцию зрачка // Автометрия. 1985. №6.
  17. Ведерников В.М. и др. Прецизионный фотопостроитель для синтеза оптических элементов// Автометрия, 1981, №3, с.3-17.
  18. Коронкевич В.П., Полещук А.Г., Чурин Е.Г., Юрлов Ю.И. Лазерная термохимическая технология синтеза дифракционных оптических элементов на пленках хрома// Квантовая электроника, 1985, №4, с. 755-761 .

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20