(17) 16 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЖИМОВ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ПОЛИМЕРИЗУЮЩИХСЯ КОМПОЗИЦИЙ
А.В. Волков, О.Е. Рыбаков, В.С. Соловьев
Институт систем обработки изображений РАН

 PDF, 345 kB

Страницы: 94-96.

Язык статьи: Русский.

Аннотация:
Для эффективной работы дифракционных оптических элементов необходимо получение микрорельефа с непрерывным профилем. Для его получения можно использовать фоточувствительные полимеры, такие как жидкие фотополимеризующиеся композиции (ЖФПК), фоторезист. Для практического использования полученных с помощью фоточувствительных полимеров дифракционных элементов возникает необходимость переноса рельефа из полимера в твердый субстрат /1/. Например, в стекло, если необходим фазовый элемент, работающий на высокой плотности излучения, или в кремний, если необходим элемент, работающий на отражение, или его матрица для массового копирования любых элементов с помощью фотопластмасс. В последнем случае в твердом субстрате формируется обратный необходимому рельеф. В отличие от бинарных дифракционных элементов элементы с непрерывным профилем получить путем жидкостного травления твердого субстрата (стекла, кремния) через полимерную маску невозможно, так как стойкость к разрушению полимерной маски в жидком травителе много больше, чем у субстрата. И другой технологический аспект: если полимер все же разрушается в жидком травителе, то этот процесс не поддается технологическому контролю и в большинстве случаев происходит катастрофически. К тому - же жидкостное травление изотропно, что является дополнительной
причиной, исключающей точный перенос рельефа в субстрат. При “сухом” травлении скорость разрушения полимера контролируема и может быть сравнима со скоростью травления твердого субстрата. Это дает возможность получить перенос микрорельефа в твердую матрицу в твердую матрицу с управляемым коэффициентом переноса. Исследованию технологической возможности реализации такого процесса и посвящена данная работа.

Citation:
Volkov AV, Rybakov OE, Soloviev VS. The study of modes of plasma etching of synthesized polymerizable compositions. Computer Optics 1997; 17: 94-96.

Литература:

  1. Соловьев В.С., Бойко Ю.В.. Получение элементов компьютерной оптики на жидких фотополимеризующихся композициях. // Компьютерная оптика.– М.: МЦНТИ, 1990. – Вып.8. - С.74 - 76.
  2. Киреев В.Ю. Данилин Б.С. Кузнецов В.И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур М.: Радио и связь,1983.128 с.
  3. У. Моро. Микролитография (в двух частях), ч. 2: Перевод с английского. - М.: Мир., 1990. 632 с.
  4. Соловьев В.С. Исследование поведения слоя ЖФПК во время рельефообразования. // Компьютерная оптика.– М.: МЦНТИ, 1992. - Вып.10-11. – С.145 - 149 .

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20