(19) 24 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

ФОРМИРОВАНИЕ МИКРОРЕЛЬЕФА ДОЭ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ХАЛЬКОГЕНИДНЫХ СТЕКЛООБРАЗНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ

А.В. Волков, Н.Л. Казанский, Г.Ф. Костюк, С.А. Костюкевич* , П.Е. Шепелявый*

Институт систем обработки изображений РАН,

*Институт физики полупроводников Национальной Академии Наук Украины

 PDF, 371 kB

Страницы: 129-131.

Язык статьи: Русский.

Citation:
Volkov AV, Kazanskiy NL, Kostyuk GF, Kostyukevich SA, Shepelyavyi PE. Forming a DOE micro-relief with the use of chalcogenide vitreous semiconductors. Computer Optics 1999; 19: 129-131.

Литература:

  1. Aristov VV, Babin SV, Erko AI. The possibilities of microelectronics technology for creating computer optics elements. Computer optics 1989; 4: 61-65.
  2. Moiseev OY, Volkov AV, Dmitriev VD, Verbenko IV, Borodin SA. Evaporator for multicomponent materials. Inventor’s certificate 1491029 dated 01.03.1989.
  3. Moiseev OY, Kolpakov AI, Volkov AV, Borodin SA. Evaporator for multicomponent materials. Inventor’s certificate 1824457 dated 12.11.1992.
  4. Kolomiets BT, Lyubin VM, Shilo VP. Photostimulated changes of the solubility of chalcogenide glasses. Fizika i Khimiya Stekla. 1978; 4(3): 351-357.
  5. Indutnyi I.Z., Stronski A.V., Kostioukevitch S.A., Romanenko P.F., Shepeljavi P.E., Robur I.I. Holographic optical elements fabrication using chalcogenide layers // Opt. Eng. - 1995. - v. 534, N 4. - p.1030-1039.
  6. Koronkevich VP, Remesnik VG, Fateev VA, Tsukerman VG. Kinoform optical elements in glassy chalcogenide semiconductor films. Avtometriya; 1976; 5: 3-9.
  7. Indutnyi I.Z., Kostioukevitch S.A., Shepeljavi P.E., Stronski A.V., Gladtshenko L.M. Formation of optical disk direction paths and optical master disks with the help of inorganic resists // Proc. SPIE.- 1993. - v. 1983. - p. 464-465.
  8. Indutnyi IZ, Kostioukevitch SA, Shepeljavi PE. RF Patent 2008285, MKI5 C 03 C 15/00, 23/00. Solution for negative etching of chalcogenide glasses. Otkrytiya. Izobr.; 1994: 4.
  9. Akhmadeev MK, Pashinkina GZ, Karaulova OD, Fazullina AV. Etching methods for optical coatings. Analytical review for 1950- 1979; Moscow: TSNII Elektronika; 1982; 3059: 72.

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20