(20) 18 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

ОПТИМИЗАЦИЯ МЕТОДА ПРЯМОЙ ЗАПИСИ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ ДОЭ С НЕПРЕРЫВНЫМ ПРОФИЛЕМ

Р. В. Шиманский, А. Г. Полещук, В. П. Корольков, В. В. Черкашин, А. А. Харисов

Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск

 PDF, 3215 kB

Страницы: 80-83.

Язык статьи:Русский.

Аннотация:
Разработан новый метод представления данных описывающих топологию дифракционных оптических элементов для сканирующих устройств записи изображения. Предлагаемый векторно-градиентный формат данных основан на кусочно-линейной аппроксимации профиля дифракционной зоны. Разработан программируемый векторно-градиентный генератор, поддерживающий этот формат. Изготовлены экспериментальные образцы дифракционных оптических элементов.

Citation:
Shimansky RV, Poleshchuk AG, Korolkov VP, Cherkashin VV, Kharisov AA. Optimization for direct laser writing of continuous-relief diffractive optical elements. Computer Optics 2000; 20: 80 - 83.

Литература:

  1. M.T.Gale, M.Rossi, J.Pedersen, H.Schutz, “Fabrication of continuous relief micro-optical elements by direct laser writing in photoresist”, Opt. Eng., 33, 3556-3566, (1994).
  2. V.P.Korolkov, A.I.Malyshev, V.G.Nikitin, A.G. Poleshchuk, A.A. Kharissov, V.V. Cherkashin, C. Wu, “Application of gray-scale LDW-glass masks for fabrication of high-efficiency DOEs,” Proc. of SPIE, 3633, 129-138, (1999).
  3. E.B. Kley, C. Wu, “Adapting existing e-beam writers to write HEBS-glass gray scale masks”, in Diffractive and Holographic Technologies, Systems, and Spatial Light Modulators VI, ed. by S.H.Lee and R.L.Sutherland, Proc. of SPIE, 3633, 35-45, (1999).
  4. А.Г. Полещук. “Изготовление рельефнофазовых структур с непрерывным и многоуровневым профилем для дифракционной оптики,” Автометрия, 1992, № 1, с.66-79.
  5. A.G. Poleshchuk, E.G. Churin, V.P. Koronkevich, V.P. Korolkov, etc. , “Polar coordinate laser pattern generator for fabrication of diffractive optical elements with arbitrary structure,” Appl. Opt., 38, 1295-1301 (1999).

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20