(24) 13 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДА ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА ДОЭ В САПФИРОВЫХ ПОДЛОЖКАХ
А.В. Волков, О.Г. Истинова, Н.Л. Казанский, Г.Ф. Костюк
Институт систем обработки изображений РАН
Самарский государственный аэрокосмический университет

 PDF, 403 kB

Страницы: 70-73.

Язык статьи: Русский.

Аннотация:
Предложен и реализован метод формирования фазового микрорельефа сапфировых (лейкосапфировых) дифракционных оптических элементов (ДОЭ). С использованием данного метода изготовлена и исследована бинарная структура на сапфировой подложке, работающая в ультрафиолетовом диапазоне как дифракционная линза с фокусным расстоянием f≈50 мм. Показано, что сапфир в качестве материала подложки ДОЭ является реальной альтернативой кварцевым пластинкам и алмазоподобным пленкам. Осуществлен выбор параметров формирования заданного микрорельефа в сапфировых подложках на основе ионнохимического травления в среде Хладона-14.

Keywords:
DOE, on sapphire substrate, binary structure, ultraviolet range, quartz plate, Freon-14

Citation:
Volkov AV, Istinova OG, Kazanskiy NL, Kostyuk GF. Research and development of technology of DOE microrelief formation on sapphire substrates. Computer Optics 2002; 24: 70-73.

Литература:

  1. Головашкин Д.П., Дюпарре М., Павельев В.С., Сойфер В.А. Моделирование прохождения ИК- излучения через алмазную дифракционную линзу с субволновыми технологическими погрешностями микрорельефа // Компьютерная оптика, 2001, вып. 21, С.131-133.
  2. Кононенко В.В., Конов В.И., Пименов С.М., Прохоров А.М., Казанский Н.Л., Павельев В.С., Сойфер В.А. Исследование алмазной дифракционной цилиндрической линзы // Компьютерная оптика, 1999, Вып. 19. С.102-105.
  3. Волков А.В., Казанский Н.Л., Успленьев Г.В. Изготовление и экспериментальное исследование фокусаторов в кольцо и две точки // Компьютерная оптика, 1999, Вып. 19. С.132-136.
  4. Волков А.В., Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Успленьев Г.В., Занелли А. Создание и исследование бинарных фокусаторов для мощного NDYAG лазера // Компьютерная оптика, 2000, Вып. 20. С.84-89.
  5. Мишкаренко Ю.Н. Высокотеплопроводные материалы в электронике СВЧ // Обзоры по электронной технике. Серия 6. Материалы, Вып. 4(1349). М. ИНИИ «Электроника». 1988.
  6. Батыгина Э.И., Батыгин В.Н., Бравинский В.Г., Котюргина О.А, Куликов В.И. Диэлектрические подложки для интегральных схем СВЧ // Обзоры по электронной технике. Серия 1. «Электроника СВЧ», Вып. 4(703). М. ИНИИ «Электроника». 1980.
  7. Справочник по электротехническим материалам. Под ред. Ю.В. Корицкого, В.В. Пасынкова, Б.М. Токарева. Т.3, Л.: Энергия, 1976. С.748, 772-773.
  8. Большой энциклопедический словарь. Т.2 Под ред. А.М. Прохорова. М.: Сов. Энциклопедия, 1991. С. 654.

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20