(16) 14 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ ПРОФИЛЯ ПОВЕРХНОСТИ ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ
А.Г. Полещук

 PDF, 1337 kB

Страницы: 50-53

Язык статьи: Русский.

Аннотация:
Приводится обзор результатов исследования фотолитографического метода изготовления высокоэффективных дифракционных оптических элементов (ДОЭ), основанного на применении только одного фотошаблона с двумя градациями пропускания. Для бинаризации непрерывной функции пропускания дифракционного элемента применена техника растрирования полутоновых изображений, а для экспонирования светочувствительной среды - некогерентная пространственная фильтрация в сочетании с обычным фотолитографическим процессом. Анализируется зависимость дифракционной эффективности ДОЭ от параметров фотошаблона, методов бинаризации и погрешностей изготовления. Проведено сравнение характеристик предложенного метода с известным - многоуровневым методом. Рассмотрены особенности изготовления ДОЕ с непрерывным фазовым профилем, основанные на проекционной, контактной и рентгеновской литографии. Приведены результаты экспериментального исследования. Показана возможность изготовления ДОЭ с дифракционной эффективностью более 80% с помощью только одного фотошаблона.

Citation:
Poleshchuk AG. Methods of fabricating the surface profile of diffractive optical elements. Computer Optics 1996; 16: 54-61.

Литература:

  1. Feldman M.R., Guest C.C. Computer generated holographic optical elements for optical interconnection of very large-scale integrated circuits//Appl. Opt.-1987.-26, N 20.-P.4377.
  2. Streibl N. Application of diffractive optical elements in optoelectronic interconnection systems//Proc. of SPIE.- 1991, 1574
  3. Swanson G.J., Veldkamp W.B. Diffractive optical elements for use in infrared system//Opt. Eng.- 1989.-28, N.6.-P.605.
  4. M.T. Gale, M. Rossi, R. Kuns, G.L. Bona. Fabrication of continuous - relief micro- optical elements by direct laser writing in photoresist// Opt. Eng.-1994. 33, 3556-3566.
  5. Gotchiyaev, V.P. Korolkov, A.P. Sokolov, V.P. Chernukhin. High Rezolution Optical Recording on a-Si Films//J. Non-Crystal. Solids. -1991- 137-138, 1297-1300.
  6. Полещук А.Г. Изготовление высокоэффективных элементов дифракционной оптики с помощью полутоновой и фоторастровой технологий//Автометрия -1991.-N 6.
  7. O. Bryndahl.- Formation of Blazed Grating//- J. Opt. Soc. Am. - 1970.- 60, p.140-145.
  8. A.G. Poleshchuk. Fabrication of High Efficiency Elements for Diffractive and Integrated Optics by Photorastered Technology// - The 5-th National Conference on Optics and Laser Engineering. May 18-20, 1989, Varna, Bulgaria., p.7-8.
  9. A.G. Poleshchuk. Fabrication of Phase Structures with Continuous and Multilevel Profiles for Diffractive Optics// - Proc. of SPIE 1991,1574.
  10. Y. Oppliger, P. Sixt, J. Stauffer, J. Mayor, P. Regnault, G. Voirin// - One -step 3D shaping using a grey-tone mask for optical and microelectronics application. Microelectronics Engineering. 1994, 23, 449-454.
  11. D. C. O'Shea, P. L. Thompson, W.S. Rockward. Grayscale masks for diffractive optics: Spatial filtered halftone screens// - OSA Technical Digest Series: Diffractive Optics. 1994. 11, 119-121, Washington, DC: Optical Society of America.
  12. Moreau M. Semiconductor lithography. Principles, Practices and Materials// Plenum Press. N.Y. and London. 1988.
  13. Bastians M.J. A generalised sampling theorem with application to computer - generated transparencies// J.Opt.Soc. Am.-1978.-68,.-P.1658
  14. Kulipanov, G.N.; Makarov, O.A.; Mezentseva, L.A.; Nazmov, V.P.; Pindyurin, V.F.; Cherkashin, V.V.; Koronkevich, V.P.; Poleshchuk, A.G.; Sinyukov, M.P.; Cerrina, F.; Chen, Z. Krasnoperova A.A. - Diffraction optical elements with deep profile manufactured by X-ray lithography// - Proc. of the first conference on High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST’95).-1995. -July 3-5, Karlsruhe, Germany. (to be published in a special issue of Microsystems Technologies (Springer)
  15. V.P. Koronkevich, A.G. Poleshchuk et.el. - Fabrication of Kinoform Optical Elements// - Optik.- 1984.- 67, N3, S.259-266.
  16. В.В. Донцова, Ю.А. Клевцов, В.П. Коронкевич, А.Г. Полещук.- Микролинзы с дифракционными корректорами для дисковой памяти.-1994. N1, Стр. 3-10.
  17. A.G.Poleshchuk, A.A. Kharisov. The particular features of application of diffraction lenses in light concentrators of solar cells// - Avtometriya, 1994, No.3, 106-109.

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20