(22) 14 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

ФОРМИРОВАНИЕ МИКРОРЕЛЬЕФА ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ
С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ДОСТИЖЕНИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
А.В. Волков, Р.В. Скиданов
Институт систем обработки изображений РАН
Самарский государственный аэрокосмический университет

 PDF, 1198 kB

Страницы: 65-71.

Язык статьи: Русский.

Аннотация:
Анализируется возможность формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов (ДОЭ) с использованием микроэлектронной технологии. Оцениваются предельно допустимые отклонения параметров микрорельефа ДОЭ исходя из технологических погрешностей, определяющих минимальные размеры пассивных элементов в микроэлектронике. Приводятся результаты численного эксперимента по оценке влияния технологических ошибок формирования микрорельефа на параметры ДОЭ.

Citation:
Volkov AV, Skidanov RV. The formation of DOE microrelief using the achievements in microelectronics. Computer Optics 2001; 22: 65 - 71.

Литература:
  1. Методы компьютерной оптики / Под ред. В.А. Сойфера. М.: Физматлит, 2000. – 688с.
  2. Валиев К.А. Физика субмикронной литографии. // М.: Наука, 1990. – 528с.
  3. Моро У. Микролитография // В 2-х частях. Пер. с англ. М.: Мир, 1980. – 1240с.
  4. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров // М.: Радио и связь, 1987. – 454с.
  5. Микроэлектроника. Конструирование и производство // Пер. с англ. под ред. Н.П. Богородицкого. М.: Сов. Радио. 1966. – 455с.
  6. Пальчикова И.Г., Рябчун А.Г. О влиянии погрешностей изготовления киноформов на функцию зрачка // Автометрия. – 1985. №6. С. 98-99.
  7. Бобров С.Т. Влияние ошибок изготовления дифракционных линз на качество формируемого изображения // Автометрия. 1987. №5. С. 62-66.
  8. T. Hessler, M. Rossi, R.E. Kunz, M.T. Gale Analysis and optimization of fabrication of continuousrelief diffractive optical elements // Appl. Opt.- 1998. v.3. Р. 4069-4079.
  9. Корольков В.П. Разработка и исследование оптических методов изготовления дифракционных элементов на основе материалов с управляемым коэффициентом поглощения // Канд. диссерт.
    Новосибирск. - 2000.
  10. Волков А.В., Скиданов Р.В. Численное исследование дифракции света на дифракционных линзах // Вестник СамГТУ, сер. Физикоматематические науки. Самара. 2000. В. 9. С. 174-180.
  11. Волков А.В., Котляр В.В., Моисеев О.Ю. и др. Бинарный дифракционный оптический элемент, фокусирующий гауссовой пучок в продольный отрезок // Оптика и спектроскопия. 2000. Том 89. №2. С. 343-348.

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20