(28) 11 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

АВТОМАТИЗИРОВАННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЦЕНКИ СТЕПЕНИ ЧИСТОТЫ ПОДЛОЖКИ ПО ДИНАМИЧЕСКОМУ СОСТОЯНИЮ КАПЛИ ЖИДКОСТИ, НАНОСИМОЙ НА ЕЕ ПОВЕРХНОСТЬ
С.А. Бородин, А.В. Волков, Н.Л. Казанский
Институт систем обработки изображений РАН
Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева

 PDF, 2461 kB

Страницы: 69-75.

Язык статьи: Русский.

Аннотация:
В статье рассмотрены методы оценки степени чистоты поверхности подложек, предназначенных для формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов (ДОЭ). Предложено автоматизированное устройство контроля степени чистоты поверхности по динамическому состоянию капли жидкости. Приведены результаты экспериментов по оценке поведения капли жидкости, полученные с помощью высокоскоростной видеокамеры.

Keywords:
liquid drop, diffractive optical elements, DOEs, microrelief, high-speed video camera

Citation:
Borodin SA, Volkov AV, Kazanskiy NL. Automated device for substrate surface cleanliness estimation from the dynamic state of a liquid drop deposited on its surface. Computer Optics 2005; 28: 69-75.

Литература:

  1. Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю. Подготовка поверхности подложек для изготовления ДОЭ методом послойного наращивания фоторезиста // Компьютерная оптика, 2001. В. 21. С. 113-116.
  2. Богатырев А.Е., Шушунова Л.И., Цыганов Г.М. Новые методы контроля чистоты и дефектности поверхности деталей. Обзоры по электронной технике // – 1980. –N3 (707). С.19-27.
  3. Волков А.В., Колпаков А.И. Способ измерения чистоты поверхности подложек // А.с. №1821688 от 12.10.1992.
  4. Глаголев К.В., Морозов А.Н. Физическая термодинамика // М.: МГТУ им Н.Э.Баумана, 2002. Гл. 7.
  5. Пастухов В.А., Боксер Э.Л., Царевский Б.В. Способ определения краевого угла смачивания жидкостью твердых тел // А.с. N531065 от 05.11.76.
  6. Ициксонас Г.О., Шумахер А.А. Способ определения краевого угла смачивания // А.с. N548788от 28.02.77.
  7. Магунов А.Н. Способ определения краевого угла смачивания. А.с. N1260752 от 30.09.86.
  8. Магунов А.Н., Мудров Е.В. Измерение краевого угла смачивания методом отраженного света // ПТЭ, 1990. № 5. С. 227-230.
  9. Бородин С.А., Волков А.В., Колпаков А.И., Рафельсон Л.Л. Устройство контроля чистоты поверхности подложек // ПТЭ. 1990. №5. С. 230-232.
  10. Рафельсон Л.Л., Волков А.В., Бородин С.А., Иванова В.А. Устройство контроля чистоты поверхности подложек // А.с. №1741032 от 15.06.1992.
  11. Волков А.В., Колпаков А.И. Способ определения чистоты поверхности подложки // А.с. №1784868 от 30.01.1992г.
  12. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника // Учебное пособие для ВУЗов. М.: «Высшая школа», 1986.

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20