(30) 09 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

 PDF, 660 kB

Страницы: 53-61.

Язык статьи: Русский.

Аннотация:
Рассматривается система связанных интерферометров – измерительного и двух вспомогательных, построенных по схеме Майкельсона, для контроля пространственного положения (формы) объекта или параметров слоистых структур. Измерительный интерферометр функционирует на эффекте согласования интерферирующих полей и формирует интерференционный импульс совпадения фокуса зондирующего лазерного пучка с контролируемой поверхностью. Вспомогательный низкокогерентный интерферометр формирует опорный интерференционный импульс, относительно которого определяется положение измерительного импульса в шкале разности хода. Для этого служит вспомогательный лазерный интерферометр. Рассматривается теория интерферометров, схемные решения и алгоритмы компьютерной обработки сигналов. Приводятся экспериментальные результаты, анализируется точность измерений.

Keywords:
laser interferometry, fine-focused beam, spatial position (shape) of an object

Citation:
Lyakin DV, Lychagov VV, Ryabukho VP, Lobachev MI. Laser Interferometer with Fine- Focused Beam in a System of Three Coupled Interferometers. Computer Optics 2006; 30: 53-61.

Acknowledgements:
This work was supported by RFBR grants No. 05-08-50318-a, CRDF No. Y2-BEP-06-17 (REC-006, ANNEX BF4M06) and CRDF RUX0-006-SR-06 (ANNEX BP1M06)

Литература:

1. Коломийцов Ю.В. Интерферометры. Основы инженерной теории. Применения // Л.: Машиностроение, 1976.
2. Wyant J.C. Interferometric optic metrology: basic principles and new systems // Laser Focus, 1982. V.18. P. 65-71.
3. Батраков А.С., Бутусов М.М., Гречка Г.П. и др. Лазерные измерительные системы // М.: Радио и связь, 1981.
4. Дубнищев Ю.Н., Ринкевичус Б.С. Методы лазерной доплеровской анемометрии // М.: Наука, 1982.
5. Коронкевич В.П., Соболев В.С., Дубинцев Ю.Н. Лазерная интерферометрия // Новосибирск: Наука, 1983.
6. Аблеков В.К., Колядин С.А., Фролов А.В. Высокоразрешающие оптические системы // М.: Машиностроение, 1985.
7. Чудов В.А. Измерения в машиностроении // Измерительная техника, 1990. №3. С.61-62.
8. Васильев В.Н., Гуров И.П. Оптическая интерферометрия и информационные технологии. Системы прецизионного технологического контроля // Известия вузов. Приборостроение, 1996. №5-6. С.13-20.
9. Васильев В.Н., Гуров И.П. Технология бесконтактного контроля объектов на основе когерентного и спектрального радаров в биомедицинских исследованиях и промышленности, в кн.: Оптические и лазерные технологии // СПб.: СПбГУ ИТМО, 2002.
10. Гуров И.П., Джабиев А.Н. Интерферометрические системы дистанционного контроля объектов // СПб.: СПбГУ ИТМО, 2000.
11. Wilson T., Sheppard C.J.R. Theory and Practice of Scanning Optical Microscopy // London: Academic Press, 1984.
12. Wilson T. ed. Confocal Microscopy // London: Academic Press, 1990.
13. Ченцов Ю.В. Конфокальная лазерная сканирующая микроскопия в биологии и медицине // Оптический журнал, 1994. №12. С.18-23.
14. Лужнев Э.И., Попова И.П., Кузьмин С.В., Слащев С.М. Конфокальная лазерная сканирующая микроскопия: принципы, устройство, применение (Часть 1) // Научное приборостроение, 2001. Т.11. №2. С.3-20.
15. Hamilton D.K., Sheppard C.J.R. A Confocal Interference Microscope // Optica Acta, 1982. V. 29. N. 12. P. 1573- 1577.
16. Matthews H.J., Hamilton D.H., Sheppard C.J.R. Surface profiling by phase-locked interferometry // Applied Optics, 1986. V. 25. N. 14. P. 2372-2374.
17. Gu M. Time-resolved three-dimensional imaging based on confocal interferometry under ultrashot pulsed illumination // Optik, 1996. V. 104. N. 1. P. 32-34.
18. Fercher A.F. Optical coherence tomography // J. Biomed. Opt., 1996. V. 1. P. 157-173.
19. Schmitt J.M. Optical coherence tomography: a review // IEEE J. Select Topics Quant. Electron., 1999. V. 5. P. 1205-1215.
20. Masters B.R. ed. Optical low-coherence reflectometry and tomography // SPIE Milestone Series, 2001. V. MS165.
21. Fercher A. F., Drexler W., Hitzenberger C. K., Lasser T. Optical coherence tomography - principles and applications // Report Prog. Phys., 2003. N. 66. P. 239-303.
22. Bouma B.E. and Tearney G.J. eds. Handbook of optical coherence tomography // NY: Marcel Dekker Inc. 2002.
23. Гуров И.П. Оптическая когерентная томография: принципы, проблемы и перспективы // Проблемы когерентной и нелинейной оптики. Под ред. Гурова И.П. и Козлова С.А., СПб.: СПбГУ ИТМО. 2004. С. 6-30.
24. Рябухо В.П., Хомутов В.Л., Лякин Д.В., Константинов К.В. Лазерный интерферометр с остросфокусированными пучками для контроля пространственного положения объекта // Письма в ЖТФ, 1998. Т. 24. В. 4. С. 19-24.
25. Kempe M., Rudolph W. Scanning microscopy through thick layers based on linear correlation // Opt. Lett., 1994 V. 19. N. 23. P. 1919-1921.
26. Борн М., Вольф Э. Основы оптики // М.: Наука, 1973.
27. Лякин Д.В., Лобачев М.И., Резчиков А.Ф., Рябухо В.П., Миненкова И.Ф. Лазерная сканирующая интерференционная система для определения толщины слоистых микроструктур // Мехатроника, втоматизация, управление, 2003. №4. С.10-14

---

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20