(18) 19 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

Исследование технологии плазменного травления для получения многоуровневых дифракционных оптических элементов
А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Е. Рыбаков
Институт систем обработки изображений РАН

 PDF, 1351 kB

Страницы: 127-130.

Язык статьи: Русский.

Аннотация:
Плазменное или "сухое" травление позволяет изготовить профиль в любом материале с точностью и качеством поверхности, недостижимыми для обычного жидкостного травления. Это обусловлено возможностями анизотропного режима травления материала, высокой управляемостью и стабильностью технологических процессов при "сухом” травлении. Представляется целесообразным использование плазмохимического травления для формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов (ДОЭ), так как точность изготовления дифракционного микрорельефа определяет качество работы оптических элементов [1]. В данной работе анализируются возможности использования установки плазменного травления УТП ПДЭ-125-009 для создания дифракционных оптических элементов среднего ИК диапазона на кремниевых подложках марки КДБ-4,5 диаметром 76 мм [2] .

Citation:
Volkov AV, Kazanskiy NL, Rybakov OE. Investigation of the technology of plasma-chemical etching for producing multilevel diffractive optical elements. Computer Optics 1998; 18: 127-130.

Литература:

  1. Golub М.А., Rybakov O.E., Usplenjev G.V., Volkov A.V., Volotovsky S.G, The technology of fabricating focusators of infrared laser radiation // Optics & Laser Technology, 1995, Vol. 27, № 4, p.215-218.
  2. Stem M.B., Jay T.R. Dry etching for coherent refractive microlens arrays // Optical Engineering, 1994, Vol. 33, № 11, p. 3547-3551.
  3. Golub M.A., Sisakian I.N., Soifer V.A, Infra-red radiation focusators // Optics and Lasers in Engineering, 1991, Vol. 15, № 5, p.297-309.
  4. Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L., Soifer VA. Comparative analysis of different focusators focusing into a segment // Optics & Laser Technology, 1995, Vol. 27, №4, p.207-213 .

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20