(18) 20 * << * >> * Русский * English * Содержание * Все выпуски

Разработка технологии получения дифракционного оптического элемента с субмикронными размерами рельефа в кремниевой пластине
А.В. Волков, Н.Л. Казанский, О.Е. Рыбаков
Институт систем обработки изображений РАН

 PDF, 1133 kB

Страницы: 130-133.

Язык статьи: Русский.

Аннотация:
При использовании для изготовления дифракционных оптических элементов технологии фотолитографии одним из ответственных этапов является травление. Традиционным способом травления является жидкостное травление. Этот способ хорошо отработан и используется давно, но он имеет ряд ограничений, которые невозможно обойти [1]. Например, подтравливание под край маски (клин травления) ограничивает минимальный размер элемента структуры по площади и его высоту. При жидкостном травлении трудно обеспечить контролируемость и управляемость технологических процессов. Жидкостное травление предъявляет жесткие требования к адгезии и стойкости фоторезиста или другого маскирующего материала, используемого в процессе травления. Плазменное или ‘’сухое” травление позволяет во многих случаях обойти эти ограничения, а также дает новые технологические возможности, недоступные при жидкостной проработке рельефа.

Citation:
Volkov AV, Kazanskiy NL, Rybakov OE. Development of technology for creation of diffractive optical elements with submicron dimensions of the relief in the silicon wafer. Computer Optics 1998; 18: 130-133.

Литература:

  1. Моро У. Микролитография. В 2-х ч.Ч.2; Пер. с англ - М.: Мир. 1990г. ,632 с
  2. Сойфер В.А., Казанский Н.Л.. Харитонов С И. Синтез бинарного фокусатора в произвольную кривую в электромагнитном приближении // Компьютерная оптика, вып. 16, Самара, СГАУ, 1996, с. 22-27
  3. Досколович Л.Л., Петрова О.И., Сойфер В.А.. Харитонов С И. Градиентный метод расчета многопорядковых дифракционных решеток в приближении Рэлея // Компьютерная оптика, вып. 16, Самара, СГАУ, 1996, с. 31-35
  4. А.А. Берлин, Т.Я. Кефели, Г.В. Королев. Полиэфиракрилаты. М.: Наука, 1967 .

© 2009, IPSI RAS
Россия, 443001, Самара, ул. Молодогвардейская, 151; электронная почта: journal@computeroptics.ru; тел: +7 (846) 242-41-24 (ответственный секретарь), +7 (846) 332-56-22 (технический редактор), факс: +7 (846) 332-56-20